杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司
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真空鍍膜廠家在選擇真空鍍膜設備時會考慮設備的各種性能特點,結合自身所鍍產品的需要綜合考核,總結以下真空鍍膜機選購要點:
1手動自動的選擇
根據設備使用特點,可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。
2真空鍍膜設備充氣方式的選擇
充氣方式可選用質量流量計、浮子流量計 + 針閥及相應的充氣閥門,并可選擇多路充氣管路及相應流量參數。
3鍍制方式的選擇
根據工藝要求選擇鍍制方式及形式,如電阻蒸發(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動、電動的引弧等),真空測量可選擇數字式智能真空計及其優質的測量規管,及其它測量儀器,如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀,透過率計等。
4真空鍍膜設備夾具的工作模式
夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶可根據基片尺寸及形狀提出相應要求,轉動的速度范圍及轉動精度:普通可調及變頻調速等。
5選擇真空鍍膜機的類型
根據工藝要求選擇不同規格及類型的鍍膜設備,其類型有電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。
6真空系統
真空系統由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。
7燒烤儀表的選擇
根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質以及所需配備相應儀表測量。
8選擇報警系統
完善的報警系統,對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。
9選擇爐體材質
爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結構。