杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司
聯系人:
王先生: 13584469633
0512-58915051
蔣女士:18666211019
地 址:sales@gilitek.cn
郵 編:215600
網 址:www.gilitek.com
型號:IBSV-1030 特點: a)基板垂直放置,水平監控; b)轉靶左右可調,保證靶面中心和離子源最佳距離; c)基板:12吋×1 ; d)靶材:兩靶或三靶可更換; e)多光路監控。 f)工件夾具:12吋 工藝參數: 1)真空系統 a)極限真空度:4.0×10-5Pa b)抽至10Pa所用時間 10 Pa:≦ 10 分鐘 c)漏率:3.0×10-5Pa m3/sec | 2)控制精度 a)靶材旋轉:0.005° b)工件旋轉: <1000RPM c)編碼器Encode: 12000lines;480000Counts/rev d)膜厚修正板:0.005° e)擋板: position switch 3)光學監控系統OMS a) 波長范圍:380nm~1650nm b) 光源穩定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02% c) 波長分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm d) 波長準確度: 白光0.2nm ,激光0.1nm |
杰萊特擁有領先的真空鍍膜技術,已申請多項zhuanli。產品類型包括離子濺射鍍膜機、電子槍蒸發鍍膜機、高精度光學監控系統等,同時承攬鍍膜機設備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務等業務。
公司生產的離子濺射和電子槍鍍膜機,是針對特定市場和客戶群體開發的新產品,與目前市場上普遍采用的鍍膜機相比具備以下突出優勢:單體同步精密監控,實時膜厚分布控制。因此適合做各類高難度鍍膜產品。單片薄膜產品的面積越大,優勢越明顯。而電子槍蒸發鍍膜機還增加了雙面鍍膜功能,適合半導體激光器的端面鍍膜。
我公司將利用自身技術優勢,根據客戶需求,生產各種類型的高端精密鍍膜設備,打破目前在高端鍍膜機市場全部由國外企業壟斷的局面,歡迎各界人士來電咨詢!