杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司
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型號:IBSV-1030 特點: a)基板垂直放置,水平監控; b)轉靶左右可調,保證靶面中心和離子源最佳距離; c)基板:12吋×1 ; d)靶材:兩靶或三靶可更換; e)多光路監控。 f)工件夾具:12吋 工藝參數: 1)真空系統 a)極限真空度:4.0×10-5Pa b)抽至10Pa所用時間 10 Pa:≦ 10 分鐘 c)漏率:3.0×10-5Pa m3/sec | 2)控制精度 a)靶材旋轉:0.005° b)工件旋轉: <1000RPM c)編碼器Encode: 12000lines;480000Counts/rev d)膜厚修正板:0.005° e)擋板: position switch 3)光學監控系統OMS a) 波長范圍:380nm~1650nm b) 光源穩定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02% c) 波長分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm d) 波長準確度: 白光0.2nm ,激光0.1nm |
杰萊特擁有領先的真空鍍膜技術,已申請多項zhuanli。生產多種高質量鍍膜設備,同時承攬鍍膜設備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務等業務。
公司生產的各型鍍膜機,是針對特定市場和客戶群體開發的新產品,與目前市場上普遍采用的鍍膜設備相比具備以下突出優勢:單體同步精密監控,實時膜厚分布控制。因此適合做各類高難度鍍膜產品。單片薄膜產品的面積越大,優勢越明顯。而電子束鍍膜機還增加了雙面鍍膜功能,適合半導體激光器的端面鍍膜。
杰萊特秉承質量第一,信譽至上的理念專注鍍膜行業數十年,我公司將利用自身技術優勢,根據客戶需求,生產各種類型的高端精密鍍膜設備,打破目前在高端鍍膜機市場全部由國外企業壟斷的局面,歡迎各界人士來電咨詢!