杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司
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型號:IBSH-1030 特點: 1、基板水平放置,垂直監控; 2、靶材左右移動,位置和速度可編程控制; 3、基板:12吋×1 或 6吋×4; 4、靶材:兩靶,三靶或四靶可更換; 5、多光路監控。 6、無膜厚分布修正板 | 工藝參數: 一,真空系統 1、極限真空度:4.0×10-5Pa 2、抽至10Pa所用時間:≦ 10 分鐘 3、漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec 二,控制精度 1、靶材旋轉:0.005° 2、工件旋轉: <1000RPM 3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev 4、膜厚修正板:0.005° 5、擋板: position switch 三,光學監控系統OMS 1、波長范圍:380nm~1650nm 2、光源穩定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02% 3、波長分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm 4、波長準確度: 白光0.2nm ,激光0.1nm |
杰萊特擁有領先的真空鍍膜技術,已申請多項zhuanli。產品類型包括離子濺射鍍膜機、電子槍蒸發鍍膜機、高精度光學監控系統等,同時承攬鍍膜機設備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務等業務。
公司生產的離子濺射和電子槍鍍膜機,是針對特定市場和客戶群體開發的新產品,與目前市場上普遍采用的鍍膜機相比具備以下突出優勢:單體同步精密監控,實時膜厚分布控制。因此適合做各類高難度鍍膜產品。單片薄膜產品的面積越大,優勢越明顯。而電子槍蒸發鍍膜機還增加了雙面鍍膜功能,適合半導體激光器的端面鍍膜。
我公司將利用自身技術優勢,根據客戶需求,生產各種類型的高端精密鍍膜設備,打破目前在高端鍍膜機市場全部由國外企業壟斷的局面,歡迎各界人士來電咨詢!