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            杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司

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            垂直鍍膜設備

            • 所屬分類:離子濺射鍍膜機

            • 點擊次數:
            • 發布日期:2020/04/21
            • 在線詢價
            詳細介紹

            型號:IBSV-1030    

            特點:

            a)基板垂直放置,水平監控;

            b)轉靶左右可調,保證靶面中心和離子源最佳距離;

            c)基板:12吋×1 ;

            d)靶材:兩靶或三靶可更換;

            e)多光路監控。

            f)工件夾具:12吋

            工藝參數:

            1)真空系統

            a)極限真空度:4.0×10-5Pa 

            b)抽至10Pa所用時間 10 Pa:≦ 10 分鐘

            c)漏率:3.0×10-5Pa m3/s

            2)控制精度

            a)靶材旋轉:0.005°

            b)工件旋轉: <1000RPM

            c)編碼器Encode: 12000lines;480000Counts/rev

            d)膜厚修正板:0.005°

            e)擋板:  position switch

            3)光學監控系統OMS

            a) 波長范圍:380nm~1650nm

            b) 光源穩定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02%

            c) 波長分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm

            d) 波長準確度: 白光0.2nm ,激光0.1nm


                  杰萊特擁有領先的真空鍍膜技術,已申請多項zhuanli。生產多種高質量鍍膜設備,同時承攬鍍膜設備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務等業務。

                  公司生產的各型鍍膜機,是針對特定市場和客戶群體開發的新產品,與目前市場上普遍采用的鍍膜設備相比具備以下突出優勢:單體同步精密監控,實時膜厚分布控制。因此適合做各類高難度鍍膜產品。單片薄膜產品的面積越大,優勢越明顯。而電子束鍍膜機還增加了雙面鍍膜功能,適合半導體激光器的端面鍍膜。

                  杰萊特秉承質量第一,信譽至上的理念專注鍍膜行業數十年,我公司將利用自身技術優勢,根據客戶需求,生產各種類型的高端精密鍍膜設備,打破目前在高端鍍膜機市場全部由國外企業壟斷的局面,歡迎各界人士來電咨詢!


            相關標簽:離子濺射鍍膜機,垂直鍍膜設備價格,垂直鍍膜設備批發

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