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            杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司

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            平安垂直型離子濺射鍍膜機 IBSV-1030

            • 所屬分類:平安離子濺射鍍膜機

            • 點擊次數:
            • 發布日期:2020/04/21
            • 在線詢價
            詳細介紹

            型號:IBSV-1030


            特點:

            1、基板垂直放置,水平監控;

            2、轉靶左右可調,保證靶面中心和離子源最佳

                 距離;

            3、基板:12吋×1 ;

            4、靶材:兩靶或三靶可更換;

            5、多光路監控。

            6、工件夾具:12吋


            工藝參數:

            1、真空系統

                 a) 極限真空度:4.0×10-5Pa 


                 b) 抽至10Pa所用時間 10 Pa:≦ 10 分鐘

                 c) 漏率:3.0×10-5Pa m3/sec

            2、控制精度

                 a) 靶材旋轉:0.005°

                 b) 工件旋轉: <1000RPM

                 c) 編碼器Encode: 12000lines;

                                             480000Counts/rev

                 d) 膜厚修正板:0.005°

                 e)擋板:  position switch

            3、光學監控系統OMS

                 a) 波長范圍:380nm~1650nm

                 b) 光源穩定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02%

                 c) 波長分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm

                 d) 波長準確度: 白光0.2nm ,激光0.1nm


                  


                  杰萊特擁有領先的真空鍍膜技術,已申請多項zhuanli。生產多種高質量鍍膜設備,同時承攬鍍膜設備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務等業務。

                  公司生產的各型鍍膜機,是針對特定市場和客戶群體開發的新產品,與目前市場上普遍采用的鍍膜設備相比具備以下突出優勢:單體同步精密監控,實時膜厚分布控制。因此適合做各類高難度鍍膜產品。單片薄膜產品的面積越大,優勢越明顯。而電子束鍍膜機還增加了雙面鍍膜功能,適合半導體激光器的端面鍍膜。

                  杰萊特秉承質量第一,信譽至上的理念專注鍍膜行業數十年,我公司將利用自身技術優勢,根據客戶需求,生產各種類型的高端精密鍍膜設備,打破目前在高端鍍膜機市場全部由國外企業壟斷的局面,歡迎各界人士來電咨詢!



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